أهداف التنتالومعادة ما تأتي على شكل أقراص أو ألواح مستطيلة، ولكن يمكن أيضًا تصنيعها في مجموعة متنوعة من الأشكال والأحجام وفقًا لمتطلبات التطبيق المحددة. وتشمل خصائصه الهيكلية الرئيسية ما يلي:
درجة نقاء عالية: عادة أكثر من 99.9%، وأحيانًا تصل إلى 99.999%. تضمن النقاء العالي عدم إدخال أي شوائب غير مرغوب فيها أثناء عملية ترسيب الأغشية الرقيقة.
التوحيد: يجب أن يكون لأهداف التنتالوم بنية مجهرية موحدة لضمان توزيع موحد للمواد أثناء ترسيب الأغشية الرقيقة.
كثافة عالية: يعد توحيد الكثافة أمرًا بالغ الأهمية لضمان الاستقرار أثناء الترسيب.